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Microsonda Iónica - SIMS

La técnica SIMS es la más sensible para el análisis elemental e isotópico de superficies. La técnica SIMS proporciona la combinación única de una sensibilidad extremadamente elevada para todos los elementos desde el hidrógeno hasta el uranio (límite de detección por debajo del nivel de ppb para muchos elementos), una elevada resolución lateral en imagen (por debajo de los 40 nm), y un muy bajo ruido de fondo que permite un elevado intervalo dinámico (más de cinco décadas). La técnica es destructiva por naturaleza (bombardeo del material). Puede aplicarse sobre cualquier tipo de material (aislantes, semiconductores, metales) que pueda mantenerse en vacío.

La técnica permite la caracterización elemental y molecular de la primera monocapa atómica en modo de SIMS estático. También permite la investigación de la composición del material "bulk" o la distribución en profundidad de diferentes elementos traza en modo de SIMS dinámico, con una resolución en profundidad desde 1 a 20-30 nm.

Estas son algunas de las razones por las que la técnica SIMS es una de las más utilizadas en análisis de superficie para investigación y desarrollo avanzados en materiales.

CAMECA ha desarrollado una línea completa de productos basados en la técnica SIMS, asegurando las mejores prestaciones para las diferentes aplicaciones.

  • IMS 7f-Auto: latest version of the IMS 7f for high throughput, fully automated microanalysis
  • SC Ultra: magnetic sector SIMS for advanced semiconductors
  • IMS Wf: full-wafer magnetic sector SIMS, optimized for ultra shallow implant control
  • IMS 7f-GEO: magnetic sector SIMS for geoscience laboratories
  • IMS 1300-HR³: ultra high sensitivity magnetic Sector SIMS for geosciences
  • KLEORA : ultra high sensitivity SIMS optimized for geochronology
  • NanoSIMS 50L: SIMS microprobe for ultra fine feature analysis in materials, geology, planetary and life sciences
  • SIMS 4550: universal quadrupole SIMS for semiconductors and materials.  
  • IMS 7fR: shielded magnetic sector SIMS for radioactive samples (on request) 

http://www.cameca.com/instruments-for-research/sims.aspx

 

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    CAMECA suministra equipamiento de metrología in-Fab y near-Fab en el ámbito semiconductor, basado en técnicas analíticas...

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