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Microsonda Electrónica de Barrido - EPMA (SEM Analítico)

La técnica por microsonda electrónica de barrido (EPMA) es no destructiva y aporta información cualitativa y cuantitativa en análisis elemental para volúmenes micrométricos en la superficie de los materiales, con sensibilidades del orden de los ppm. La técnica permite obtener de forma simultánea imágenes de rayos X (WDS y EDS), SEM y BSE, además de microscopía óptica.

Se obtienen reproducibilidades en procesos cuantitativos de rutina durante varios días del 1%. El análisis por sonda de electrones es la técnica disponible más precisa y exacta en el ámbito del microanálisis, pudiendo analizarse todos los elementos desde el Berilio hasta el Uranio. Otras características importantes de la técnica son:

  • EPMA es totalmente compatible con sesiones de análisis de rutina, con una fácil y directa interpretación de los resultados.
  • Los instrumentos EPMA se equipan con un conjunto completo de herramientas de microscopía, que permiten obtener de forma simultánea imágenes de rayos X (WDS y EDS), SEM y BSE, además de microscopía óptica. Se obtiene una gran flexibilidad para la inspección de las muestras con ampliaciones de imagen desde 40 hasta 400.000 aumentos.
  • Determinación del espesor y composición elemental de capas con grosores desde nm hasta mm en materiales estratificados.

http://www.cameca.com/instruments-for-research/epma.aspx

 

  • Cameca

    CAMECA suministra equipamiento de metrología in-Fab y near-Fab en el ámbito semiconductor, basado en técnicas analíticas...

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