Início > Produtos > Análise de Superfícies > Microsonda Electrónica de Varrimento - EPMA (SEM Analítico)
La técnica por microsonda electrónica de barrido (EPMA) es no destructiva y aporta información cualitativa y cuantitativa en análisis elemental para volúmenes micrométricos en la superficie de los materiales, con sensibilidades del orden de los ppm. La técnica permite obtener de forma simultánea imágenes de rayos X (WDS y EDS), SEM y BSE, además de microscopía óptica.
Se obtienen reproducibilidades en procesos cuantitativos de rutina durante varios días del 1%. El análisis por sonda de electrones es la técnica disponible más precisa y exacta en el ámbito del microanálisis, pudiendo analizarse todos los elementos desde el Berilio hasta el Uranio. Otras características importantes de la técnica son:
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CAMECA suministra equipamiento de metrología in-Fab y near-Fab en el ámbito semiconductor, basado en técnicas analíticas LEXES, SIMS y TXRF ...
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