Espectrometría de Masas de Neutros Secundarios - SNMS

El sistema INA-X, para espectrometría de masas de neutros secundarios (SNMS) de SPECS permite, como ventaja respecto la técnica SIMS, la estricta separación entre la emisión e ionización de las partículas emitidas de la superficie de la muestra. Por tanto, los llamados Efectos de Matriz del SIMS se eliminan mediante SNMS.

Las principales ventajas del método SNMS con post-ionización por gas de electrones son:

• Cuantificación sencilla
• Alta sensibilidad (Límite de Detección por debajo de 1 ppm)
• Alta resolución en profundidad en el rango de nm (<1 nm)
• Tiempo de análisis breve

Como el flujo de las partículas obtenidas del proceso de sputtering son casi exclusivamente neutras, y cada partícula se monitoriza con una probabilidad de detección fija y conocida, las señales SNMS muestran la composición de la muestra directa y cuantitativamente. La ionización por impacto electrónico de las partículas neutras procedentes de la muestra con el "gas de electrones" del plasma RF resultan en una buena relación lineal entre las intensidades de las señales medidas y las concentraciones reales de los elementos. Esto hace del SNMS, una técnica altamente fiable y sencilla para la cuantificación de la composición de la muestra.

Aplicaciones:

• Análisis de materiales conductores y aislantes
• Análisis de impurezas y contaminantes en Control de Calidad
• Perfiles en profundidad rápidos y de rutina para aplicaciones industriales
• Análisis de interfases
• Análisis medioambiental

http://www.specs.de/cms/front_content.php?idart=139