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Espectrometría de Masas & Análisis de Gases Residuales & Análisis de Gases a Presión Atmosférica

Los equipos de análisis de gases por espectrometría de masas de nuestra representada MKS son instrumentos de monitorización de proceso in-situ innovadores, que están totalmente integrados, con paquetes específicos en base a las aplicaciones, incluyendo analizadores de gases residuales (RGA), RGA con acceso a través de web, equipos de análisis de gases a presión atmosférica, RGAs de proceso y software de control. Entres las muchas aplicaciones pueden destacarse:

    • Monitorización en vacío y e-Diagnóstico
    • Ultra Alto Vacío (UHV)
    • Procesos CVD
    • RGA Línea base de procesos en vacío
    • Implantación Iónica
    • Detección de Fotorresinas
    • RGA de alta presión
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http://www.mksinst.com/product/category.aspx?CategoryID=93

  • MKS Instruments Inc.

    MKS Instruments, Inc, lider mundial suministrador de soluciones de precisión, estabilidad y repetiblidad para control de...

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