Amañosadpres de Gases Residuais (RGA)

Espectrómetros de masas tipo cuadrupolo, con rango de masas hasta 300 uma.

Detectores de Faraday y Multiplicador de electrones.

Los analizadores de gases residuales son utilizados para monitorización y análisis en un amplio rango de aplicaciones:

• Análisis y monitorización de gases de proceso
• Detección de fugas de Helio
• Estudios de desorción, desgasificación....
• Estudios de Helio y Deuterio
• Ciclos de horneado

MKS INSTRUMENTS, ofrece una gama completa de RGA, con diferentes opciones según la aplicación (Recubrimiento, tecnología thin-film, Física de Altas Energías...). Estas opciones incluyen sensores de alta resolución para estudios de especies de bajo peso molecular, analizadores para estudios de Ultra-Alto-Vacío...

http://www.mksinst.com/product/Category.aspx?CategoryID=91