Espectrometría de Masas & Análisis de Gases Residuales & Análisis de Gases a Presión Atmosférica

Los equipos de análisis de gases por espectrometría de masas de nuestra representada MKS son instrumentos de monitorización de proceso in-situ innovadores, que están totalmente integrados, con paquetes específicos en base a las aplicaciones, incluyendo analizadores de gases residuales (RGA), RGA con acceso a través de web, equipos de análisis de gases a presión atmosférica, RGAs de proceso y software de control. Entres las muchas aplicaciones pueden destacarse:

• Monitorización en vacío y e-Diagnóstico
• Ultra Alto Vacío (UHV)
• Procesos CVD
• RGA Línea base de procesos en vacío
• Implantación Iónica
• Detección de Fotorresinas
• RGA de alta presión

 

http://www.mksinst.com/product/Category.aspx?CategoryID=90