Tomographic Atom Probe – LA-WATAP

El LA-WATAP es una técnica cuantitativa que proporciona a escala atómica un mapa elemental en 3D de heterogeneidades en materiales. Mediante STM (microscopía túnel de barrido), se pueden obtener imágenes de un solo átomo y su entorno. La sonda atómica además permite dos grandes ventajas:

• Análisis elemental: cada átomo individual se identifica químicamente
• Resolución en profundidad, obteniendo mapas químicos de los átomos en 3D real

CAMECA comercializa, fabrica, instala y proporciona servicio sobre el sistema LA-WATAP Atom Probe, basado en la colaboración y acuerdo de transferencia de tecnología con el GPM (Grupo de Física de los Materiales), en la Universidad de Rouen, Francia. En este sistema, los átomos, uno a uno, se evaporan de la superficie de la muestra y se proyectan hacia un detector sensible a su posición. Los átomos se identifican químicamente mediante un espectrómetro de masas de tiempo de vuelo (TOF). La investigación del material en profundidad revela la distribución 3D de los átomos en el material a escala atómica.

La muestra se prepara en forma de una punta muy afilada (radio = 10 - 70 nm). Para muestras metálicas se utilizan procesos de electro-erosión; para semiconductores Focused Ion Beam (FIB) milling: se protege un rectángulo de la oblea con metalización, se FIB-corta una parte de la muestra de un tamaño de pocas micras, se extrae y se adjunta (mediante deposición FIB-metal) in-situ sobre un soporte. La muestra se FIB-muele finamente en forma cónica para obtener una punta afilada.

Esta punta se mantiene bajo UHV a una temperatura de 15 - 70 K durante el análisis, para asegurar la información obtenida.

http://www.cameca.com/instruments-for-research/lawatap.aspx