Principal > Productos > Análisis de Superficies > Espectrometría de Emisión de Rayos X Inducida por Electrones de Baja Energía - LEXES

Espectrometría de Emisión de Rayos X Inducida por Electrones de Baja Energía - LEXES

El principio de la técnica, espectrometría de emisión de rayos X mediante electrones de baja energía (LEXES) consiste en la irradiación de una muestra sólida por un haz de electrones de baja energía, analizando los rayos X emitidos por el material. Debido a que los rayos X son característicos de los elementos emisores, se consigue análisis elemental selectivo. La profundidad analizada puede variar entre 1 y 500 nanómetros, dependiendo de parámetros como el elemento, la matriz y la energía primaria del electrón.

El modelado preciso de la interacción electrón primario / matriz y de la absorción de los rayos X emitidos permite la CUANTIFICACIÓN ELEMENTAL de la muestra en la profundidad analizada en un amplio intervalo de concentraciones (desde 100 % hasta decenas de ppm). Los efectos de matriz son pequeños y bien modelados. Se dispone de patrones (materiales puros o compuestos estequiométricos). Otro aspecto importante de la técnica recae sobre la naturaleza no destructiva del análisis.

http://www.cameca.com/metrology-tools/lexes.aspx

  • Cameca

    CAMECA suministra equipamiento de metrología in-Fab y near-Fab en el ámbito semiconductor, basado en técnicas analíticas LEXES, SIMS y TXRF ...

Más información